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工業(yè)車(chē)間如何控制環(huán)境濕度?

發(fā)布時(shí)間:2017-11-08 08:37:54 人氣:412

過(guò)于干燥的環(huán)境問(wèn)題對(duì)工業(yè)生產(chǎn)所造成的影響和危害都是非常大的,很多工廠企業(yè)每年因此而造成的直接或間接經(jīng)濟(jì)損失可是不可小視的。所以,工廠企業(yè)必須對(duì)干燥問(wèn)題予以及時(shí)的解決,只要濕度出現(xiàn)過(guò)低的情況,就需要使用工業(yè)加濕器來(lái)對(duì)濕度進(jìn)行嚴(yán)格的控制,即可有效的避免空氣干燥。杭井車(chē)間加濕器,加濕速度快,效率高,全自動(dòng)控制。工業(yè)車(chē)間yi般面積比較大,還是用chao聲波大型加濕器,有降溫除塵的效果,對(duì)于提高企業(yè)績(jī)效將有特別重要的意義。
車(chē)間除濕加濕器

濕度控制是無(wú)塵車(chē)間生產(chǎn)必需具備的重要條件,相對(duì)濕度是無(wú)塵車(chē)間、潔凈室運(yùn)作過(guò)程中yi個(gè)常用的環(huán)境控制條件。半導(dǎo)體無(wú)塵車(chē)間、潔凈室中的典型的相對(duì)濕度的目標(biāo)值大約控制在30至50%的范圍內(nèi),允許誤差在±1%的狹窄的范圍內(nèi),例如光刻區(qū)或者在遠(yuǎn)紫外線處理(DUV)區(qū)甚至更小而在其他地方則可以放松到±5%的范圍內(nèi)。

高濕度實(shí)際上減小了無(wú)塵車(chē)間、潔凈室表面的靜電荷積累──這是大家希望的結(jié)果。較低的濕度比較適合電荷的積累并成為潛在的具有破壞性的靜電釋放源。當(dāng)相對(duì)濕度chao過(guò)50%時(shí),靜電荷開(kāi)始迅速消散,但是當(dāng)相對(duì)濕度小于30%時(shí),它們可以在絕緣體或者未接地的表面上持續(xù)存在很長(zhǎng)yi段時(shí)間。
相對(duì)濕度在35%到40%之間可以作為yi個(gè)令人滿意的折中,半導(dǎo)體無(wú)塵車(chē)間、潔凈室yi般都使用額外的控制裝置以限制靜電荷的積累。
 

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